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    半導(dǎo)體制造關(guān)鍵原料面臨斷供,光刻機(jī)一哥急尋備胎

    wang 2022-02-28 742人圍觀 ,發(fā)現(xiàn)0個(gè)評論 半導(dǎo)體制造材料烏克蘭氖氣
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    半導(dǎo)體制造關(guān)鍵原料面臨斷供,光刻機(jī)一哥急尋備胎!



    ASML公司CEO表示:正在為工廠使用的少量氖氣尋找其他來源!


    烏克蘭生產(chǎn)了全球70%的氖氣,

    這是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵原料,

    用量不多但非常重要!!



    氖氣是惰性氣體中的一種,在半導(dǎo)體工藝中惰性氣體是一種重要材料,

    在DUV深紫外光光刻時(shí)代,產(chǎn)生DUV光源就需要多種惰性氣體,然后與鹵素分子混合,

    再使用電子束能量激發(fā)才能產(chǎn)生DUV波長的光,最后再用于芯片制造,



    中國氖氣價(jià)格已經(jīng)從2021年10月份的400元/立方米,

    上漲到目前超過1600元/立方米,漲幅超300%??!

    中泰股份、凱美特氣等……


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